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基于本公司專利的納米級(jí)粒度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。
面向半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)客戶的產(chǎn)品。
本產(chǎn)品為高濃度樣品， 需稀釋后再行使用，稀釋操作推薦使用 Kanomax精準(zhǔn)稀釋系統(tǒng)（PDS MODEL 9210）。

提供：
 

National Institute of Standards （NIST）認(rèn)定的聚苯乙烯(PSL)納米級(jí)粒度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。
Europiean Reference Materials(ERM)認(rèn)定的膠體二氧化硅。

【應(yīng)用范圍】
•校正光學(xué)粒子測(cè)定儀（OPC, LPC)的測(cè)定粒子徑及粒子數(shù)。
•測(cè)試過(guò)濾器的過(guò)濾效率。
•進(jìn)行晶圓的沉積實(shí)驗(yàn)。

【產(chǎn)品特性】
• 由于高濃度，與稀釋后的標(biāo)準(zhǔn)粒子相比，可抗污染。
• 濃度誤差：±10%
• 批次誤差：±5%
• 保修期限：6個(gè)月。

National Institute of Standards （NIST）認(rèn)定的聚苯乙烯(PSL)納米標(biāo)準(zhǔn)粒子（PSL)，提高容積125ml的產(chǎn)品，雙對(duì)數(shù)坐標(biāo)-3的濃度梯度。

•16種聚苯乙烯(PSL)納米標(biāo)準(zhǔn)粒子，20～300nm
•13種聚苯乙烯(PSL)納米標(biāo)準(zhǔn)粒子，20～220nm
•10種聚苯乙烯(PSL)納米標(biāo)準(zhǔn)粒子，20～125nm

Europiean Reference Materials(ERM)認(rèn)定的膠體氧化硅，提供·粒徑10、20、30、50、90nm。現(xiàn)有容積125ml和8ml的產(chǎn)品。
本公司產(chǎn)品ScanningTPC，請(qǐng)使用10、20、30nm的產(chǎn)品。