通過完全整合系統(tǒng)可實現(xiàn)最大的響應(yīng)速度和精確性。直接測量實際濃度而非相對濃度。

 

?高分辨率粒徑分布測量及（64通道/對數(shù)進位粒徑）5～600 nm的寬測量范圍

?測量不受樣品粘度，溫度，顆粒物性，顆粒形狀，顆粒表面特征等影響。

?對樣品顆粒分別分級和計數(shù)

?用最小量樣品即可實現(xiàn)高速測量（5分鐘內(nèi)）

?無需調(diào)整樣品電導(dǎo)性

?理想測量粒徑為小于30 nm的膠體顆粒，溶解殘留物可能會干擾樣品

?能夠長時間穩(wěn)定運行

?粒子間相互作用不受影響

?無需復(fù)雜的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換處理和數(shù)據(jù)解析

?實現(xiàn)了液體中納米級膠體 狀粒子的高分辨率測量。

?測量方法被認證為SEMI 指南推薦的測量方法。"

 

【應(yīng)用范圍】

主要用途

● 化學(xué)機械拋光漿料

● 過濾測試

● 蛋白質(zhì)分析

● 環(huán)境納米粒子污染

● 藥用膠體

● 凝聚研究

● 粒子生成監(jiān)控

 

《稀 釋》

通過附帶蠕動泵或另購自動采樣器，將樣品導(dǎo)入納米顆粒霧化器（NPN）M ODEL 9110。NPN具有將待測量的膠體樣品直接注入霧化器（噴霧器）的功能。或者，利用稀釋樣品選項，也可以使用超純水進行樣品稀釋。利用稀釋選項具有以下優(yōu)點。

 

·樣品中含有的穩(wěn)定劑減少，導(dǎo)致溶解的非揮發(fā)性殘留物（DNVR）的濃度降低

·限制了凝固產(chǎn)生的時間

·降低樣品導(dǎo)入裝置釋放的顆粒及移液管和樣品容器的污染

·鑒別二聚體并消除其影響

 

《噴霧過程》

納米粒子霧化器使用獲得專利的雙孔氣壓霧化器，從樣品中產(chǎn)生微細的液滴霧。再用慣性沖擊器去除大液滴。之后，加熱產(chǎn)生的霧化液滴，促進水和揮發(fā)性殘留物的蒸發(fā)。所得到的氣溶膠大致分為水樣中的顆粒和DNVR。該氣溶膠與純凈干燥空氣混合，通過離子遷移分級器和凝聚顆粒計數(shù)系統(tǒng)，測量出粒徑分布。圖1顯示了使用氣溶膠測量系統(tǒng)之前的氣溶膠化工藝過程。

 

液滴越大，相比小液滴所含的DNVR也增多，所以樣品顆粒表面涂層的厚度就會增加，同時也是造成僅殘留物形成的氣溶膠顆粒會變?yōu)楦蟮脑?。通過限制液滴尺寸及減少噴霧樣品中存在的DNVR量的在線稀釋，從而減少DNVR對真實粒徑和整體粒徑分布地測量影響。

 

樣品稀釋，通過降低非揮發(fā)性殘留物濃度，可以使（水分蒸發(fā)后）沉淀的非揮發(fā)性殘留物的尺寸變小。LNS的在線樣品稀釋功能可提供最高純度的稀釋，同時又限制了凝固等稀釋的產(chǎn)生。此外，在線稀釋的優(yōu)勢在于可以通過改變稀釋率來快速判定二聚體。(圖2)

 

 

《氣溶膠測量》

氣溶膠粒徑分布測量系統(tǒng)的組件如下。

 

?軟X射線氣溶膠帶電控制器：　使顆粒帶電分布穩(wěn)定。

?環(huán)形流離子偏移分級器（MODEL3660 AFIMC）：將粒徑像“B P F帶通濾波器”式工作原理。A FIM C基于帶電偏移程度（與粒徑相關(guān)），在一定空間內(nèi)將氣溶膠顆粒分級。只有幅窄的粒徑區(qū)域從A FIM C中取出?？梢酝ㄟ^改變A FIM C中的電場（電壓）來調(diào)節(jié)所選擇的

　粒徑，且可以在電壓范圍內(nèi)掃描來獲取粒徑分布。

?快速凝聚核粒子計數(shù)器（MODEL3650 FastCPC)：測量從A FIM C中獲取的顆粒數(shù)量濃度。

?LNS軟件可將測出的濃度迅速轉(zhuǎn)換為粒徑分布。

 

 

【應(yīng)用實例1】 過濾器試驗的測量示例

 

在SEMI C79-0113“超純水（UPW）供應(yīng)系統(tǒng)中使用的小于15 n m的過濾器的有效性評估指南”中，L N S系統(tǒng)被用作粒徑測量儀。因為除LNS系統(tǒng)外，還沒有可以滿足測量要求的粒徑測量儀。

 

用標(biāo)準孔徑為20n m的過濾器，挑戰(zhàn)12.6 n m和18.8n m粒徑的膠體二氧化硅的結(jié)果如下。

圖4和圖5，分別顯示了在LNS系統(tǒng)中測量的挑戰(zhàn)濃度和過濾后的濃度。

約18n m處顯示出99％的保持能力，而在10n m處，顯示出大量顆粒透過現(xiàn)象。

 

【應(yīng)用實例2】多種CMP漿料的粒徑分布

 

該例中，Kanomax的特制軟件（Kanolysis）在粒徑分布中可識別三種模式。Kanolysis可以得出每種模式下的累積直徑D10（直徑的10％），D50，D90。根據(jù)特定模式的直徑的變化等，從這些粒徑的統(tǒng)計信息來監(jiān)視粒徑的狀態(tài)。