名稱 | 精準(zhǔn)稀釋系統(tǒng) |
型號 | 9210 |
工作液 | PSL和用于稀釋膠體二氧化硅濃度超純水(UPW) |
超純水進(jìn)水口 | (上述以外的溶劑使用可否,請咨詢我方) |
排水口 | 1/4英寸(6.35 mm)擴(kuò)口接頭 |
OPC/LPC流量 | 1/2英寸(12.7 mm)世偉洛克接頭 |
最大稀釋度 | 10~1,000 ml/min |
最高水溫 | 20,000倍(隨高純水流量而變) |
泵管 | 35℃ |
進(jìn)水壓力 | 內(nèi)徑0.64 mm Tygon圣戈班管 |
主要液體接觸部的材質(zhì) | 138~481 kPa,20~70 psi(注意:需要恰當(dāng)?shù)呐潘?/td> |
工作環(huán)境溫度 | PFA鐵氟龍® |
工作環(huán)境相對濕度 | 15~35℃ |
電源 | 0~80% |
外形尺寸(mm) | 100~230 VAC 50/60 Hz,20 VA |
重量 | 寬220(安裝擱板時為321)x 深 279 x 高 320 mm |
約8公斤 |